Новая научно-исследовательская лаборатория «Передовые технологии корпусирования и производства 3D икросистем» (НИЛ ТКПМ) создана на базе Института нано- и микросистемной техники (НМСТ) МИЭТ с целью проведения комплексных исследований и разработок в области технологий трехмерной интеграции электронной компонентной базы. Основным технологическим партнером лаборатории стал Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ), располагающий производственными помещениями с чистыми комнатами и современным технологическим оборудованием для сборки и монтажа широкого номенклатурного ряда микросхем.

Молодые ученые, технологи и конструктора лаборатории занимаются разработкой новых конструктивно-технологических решений для создания передовых технологий корпусирования микросхем и производства высокоинтегрированных 3D микросборок с оптимальными характеристиками: минимальными массогабаритными параметрами и одновременно высокими показателями функциональности, целостности сигналов, быстродействия и надежности. Разработанные технологии базируются на применении доступных в Российской Федерации материалов и оборудования микроэлектроники.

Среди направлений исследований и разработок новой лаборатории – технологии корпусирования кристаллов СБИС, СнК, технологии создания гомогенных и гетерогенных трехмерных микросборок и систем в корпусе; технологии прецизионного беспроволочного монтажа многовыводных бескорпусных микросхем с теплоотводящими элементами (процессоров, память, ПЛИС, СнК); технологии корпусирования чувствительных элементов МЭМС и сенсоров; методы повышения надежности сварных микропроволочных и паяных соединений бескорпусных микросхем; технологии производства высокоинтегрированных интерпозеров с TSV; методология проектирования 3D микросборок и систем в корпусе с мультифизическим моделированием и интеграцией с PLM-системами.

Для индустриальных партнеров, ЗНТЦ и Завода «Протон», разрабатываются технологии, которые планируется внедрить в производство: в ЗНТЦ – технология высокоинтегрированного монтажа бескорпусных микросхем внутри подложки, на Заводе «Протон» – технология производства гетерогенных 3D вычислительных микросистем.

В интересах отечественных дизайн-центров и промышленных предприятий выполняется целый ряд исследований и разработок. Одна из самых значимых задач связана с разработкой новых конструктивно-технологических решений для корпусирования многоядерных высокопроизводительных процессоров российского цикла производства. Новые технологические решения предполагается применить при корпусировании на сборочном производстве ЗНТЦ.